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當(dāng)代吳氏名流(73）

學(xué)界女杰清華高材生

德技雙馨首席科學(xué)家

——記半導(dǎo)體器件和集成電路專家吳德馨院士

        宗賢吳德馨院士(以下尊稱為:吳宗賢)，1936年12月20日出生于河北樂亭縣，現(xiàn)年88歲。

中科院根據(jù)國家《科技發(fā)展規(guī)劃》提出的：“計(jì)算機(jī)、電子學(xué)、半導(dǎo)體、自動化”新技術(shù)發(fā)展意見，即籌建科研機(jī)構(gòu)并招募人才。

        吳宗賢1961年于清華大學(xué)無線電電子工程系畢業(yè)后入中科院半導(dǎo)體研究所工作,1986年調(diào)入微電子中心工作,后擔(dān)任該中心主任。

        1960年初,她帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)在國內(nèi)首先研究成功:硅平面型高速開關(guān)晶體管,其提出的提高開關(guān)速度的方案被采用并向全國推廣。

        1960年代末期，吳宗賢研究成功:介質(zhì)隔離數(shù)字集成電路和高阻抗運(yùn)算放大器模擬電路。

        1970年代末研究成功:MOS4K位動態(tài)隨機(jī)存儲器，在國內(nèi)首先將正性膠光刻和干法刻蝕等技術(shù)用于大規(guī)模集成電路的研制。突破了LSI低下的局面;又相繼研究成功16K位和64K位動態(tài)隨機(jī)存儲器；開發(fā)成功雙層多晶硅和差值氧化工藝。獨(dú)創(chuàng)了檢測腐蝕接觸孔質(zhì)量的露點(diǎn)法。

        1980年代末，她又開發(fā)成功了:微米CMOSLSI全套工藝技術(shù)，用于專用電路;并研制成功多種專用集成器電路；后開發(fā)成功VDMOS 系列功率場效應(yīng)器件和砷化鎵異質(zhì)結(jié)高電子遷移率晶體管。

        她被國家科委聘為:“深亞微米結(jié)構(gòu)器件和介觀物理”項(xiàng)目首席科學(xué)家，主要從事砷化鎵微波集成電路和光電模塊的研究。

中國早期微電子學(xué)研究的開拓者吳德馨院士

        1990年代，吳宗賢再次研究成功:0.8微米CMOSLSI 工藝技術(shù)和0.1 微米T型柵器件等。

        吳宗賢1991年當(dāng)選為：中科院學(xué)部委 員（院士）。

        她曾榮獲:國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、中科院科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)；北京市科技一等獎(jiǎng)。

        她的編著有：《現(xiàn)代微電子技術(shù)》等三本；還發(fā)表過20多篇學(xué)術(shù)論文。

        她曾任：國家重大科技攻關(guān)課題組負(fù)責(zé)人；攀登計(jì)劃首席科學(xué)家；國家重大基礎(chǔ)研究顧問專家組成員；中科院學(xué)部主席團(tuán)成員和微電子所研究員 ；中國電子學(xué)會常務(wù)理事;半導(dǎo)體與集成技術(shù)分會主任; 第九、十屆全國人大常委會委員和教科文衛(wèi)委員會委員等職務(wù)。

        綜觀吳德馨宗賢為我國半導(dǎo)體器和集成電路所作出的卓越奉獻(xiàn)，她是首席科學(xué)家，學(xué)界女杰，清華高材生;人如其名，德技雙馨!

        吳忠祥搜集整理于云南昆明

        2024年8月1日

        作者簡介:

        吳忠祥   , 名禎祥、字銘；1952年4月生,湖北通城縣大坪鄉(xiāng)易畈村人,大專文化。二十世紀(jì)六七十年代在本村當(dāng)“鄉(xiāng)村醫(yī)生”,后在咸就讀,畢業(yè)后在咸寧地區(qū)(市)衛(wèi)生局(衛(wèi)生健康委員會)工作至退休。因勤于筆耕愛好寫作, 而被巜中國中醫(yī)藥報(bào)》聘為駐地記者，被《湖北日報(bào)》國家?guī)w健康報(bào)》及省市多家媒體聘為通訊員。其利用業(yè)余時(shí)間免費(fèi)為全市醫(yī)療衛(wèi)生系統(tǒng)的工作“鼓與呼”；工作三十年間,在上述報(bào)刊雜志發(fā)表文章200余篇,有多篇作品在一些報(bào)刊或?qū)ｎ}征文中分獲二、三等和優(yōu)秀、鼓勵(lì)等獎(jiǎng)項(xiàng)。退休后，咸寧市衛(wèi)生局鼓勵(lì)并支持其編輯出版《衛(wèi)生情結(jié)》吳忠祥作品集一書。

 圖文：吳忠祥

 編發(fā)：黎   曙

 審稿：吳小艾

 審核：吳合林