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當代吳氏名流(73）

學界女杰清華高材生

德技雙馨首席科學家

——記半導體器件和集成電路專家吳德馨院士

        宗賢吳德馨院士(以下尊稱為:吳宗賢)，1936年12月20日出生于河北樂亭縣，現(xiàn)年88歲。

中科院根據國家《科技發(fā)展規(guī)劃》提出的：“計算機、電子學、半導體、自動化”新技術發(fā)展意見，即籌建科研機構并招募人才。

        吳宗賢1961年于清華大學無線電電子工程系畢業(yè)后入中科院半導體研究所工作,1986年調入微電子中心工作,后擔任該中心主任。

        1960年初,她帶領團隊在國內首先研究成功:硅平面型高速開關晶體管,其提出的提高開關速度的方案被采用并向全國推廣。

        1960年代末期，吳宗賢研究成功:介質隔離數(shù)字集成電路和高阻抗運算放大器模擬電路。

        1970年代末研究成功:MOS4K位動態(tài)隨機存儲器，在國內首先將正性膠光刻和干法刻蝕等技術用于大規(guī)模集成電路的研制。突破了LSI低下的局面;又相繼研究成功16K位和64K位動態(tài)隨機存儲器；開發(fā)成功雙層多晶硅和差值氧化工藝。獨創(chuàng)了檢測腐蝕接觸孔質量的露點法。

        1980年代末，她又開發(fā)成功了:微米CMOSLSI全套工藝技術，用于專用電路;并研制成功多種專用集成器電路；后開發(fā)成功VDMOS 系列功率場效應器件和砷化鎵異質結高電子遷移率晶體管。

        她被國家科委聘為:“深亞微米結構器件和介觀物理”項目首席科學家，主要從事砷化鎵微波集成電路和光電模塊的研究。

中國早期微電子學研究的開拓者吳德馨院士

        1990年代，吳宗賢再次研究成功:0.8微米CMOSLSI 工藝技術和0.1 微米T型柵器件等。

        吳宗賢1991年當選為：中科院學部委 員（院士）。

        她曾榮獲:國家科技進步二等獎、中科院科技進步一等獎；北京市科技一等獎。

        她的編著有：《現(xiàn)代微電子技術》等三本；還發(fā)表過20多篇學術論文。

        她曾任：國家重大科技攻關課題組負責人；攀登計劃首席科學家；國家重大基礎研究顧問專家組成員；中科院學部主席團成員和微電子所研究員 ；中國電子學會常務理事;半導體與集成技術分會主任; 第九、十屆全國人大常委會委員和教科文衛(wèi)委員會委員等職務。

        綜觀吳德馨宗賢為我國半導體器和集成電路所作出的卓越奉獻，她是首席科學家，學界女杰，清華高材生;人如其名，德技雙馨!

        吳忠祥搜集整理于云南昆明

        2024年8月1日

        作者簡介:

        吳忠祥   , 名禎祥、字銘；1952年4月生,湖北通城縣大坪鄉(xiāng)易畈村人,大專文化。二十世紀六七十年代在本村當“鄉(xiāng)村醫(yī)生”,后在咸就讀,畢業(yè)后在咸寧地區(qū)(市)衛(wèi)生局(衛(wèi)生健康委員會)工作至退休。因勤于筆耕愛好寫作, 而被巜中國中醫(yī)藥報》聘為駐地記者，被《湖北日報》國家?guī)w健康報》及省市多家媒體聘為通訊員。其利用業(yè)余時間免費為全市醫(yī)療衛(wèi)生系統(tǒng)的工作“鼓與呼”；工作三十年間,在上述報刊雜志發(fā)表文章200余篇,有多篇作品在一些報刊或專題征文中分獲二、三等和優(yōu)秀、鼓勵等獎項。退休后，咸寧市衛(wèi)生局鼓勵并支持其編輯出版《衛(wèi)生情結》吳忠祥作品集一書。

 圖文：吳忠祥

 編發(fā)：黎   曙

 審稿：吳小艾

 審核：吳合林